Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS

Das Fraunhofer ENAS ist auf Smart Systems Integration unter Nutzung von Mikro- und Nanotechnologien fokussiert. Das Fraunhofer ENAS arbeitet in den drei Geschäftsfeldern Micro and Nano Systems, Green and Wireless Systems und Micro- and Nanoelectronics/ Back-end of Line.

Produkte

- integrierte Sensor-, Aktor- und optische Systeme wie z. B. hochgenaue Beschleunigungssensoren mit integrierter closed-loop Auswerteelektronik, Ultraschalltransducer, einstellbare IR-Filter (Fabry-Perot-Interferometer) und kompaktes IR-Spektrometermodul zur Substanzanalyse, Hochtemperatursensorik, Neigungssensoren, polymerbasierte MEMS, RF MEMS- Softwaremodule zur Prozessoptimierung, Simulation und Zuverlässigkeitsbewertung

Dienstleistungen

F & E Services (Industrie-Direktaufträge, Verbundprojekte, Beratung, machbarkeitsstudien)- Smart Systems Integration - Komponenten- und Systemdesign und -entwicklung - Technologieentwicklung- Hochtemperaturmetallisierungen- Interconnectsysteme für die Multi Device Integration / 3D-Integration - MEMS Packaging- Prozess- & Equipmentsimulation- Zuverlässigkeitsbewertung (mechanisch , thermomechanisch, elektromagnetische)- Test und Charakterisierung von MEMS/NEMS- Gedruckte Funktionalitäten