SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH

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nano tech 2016

SENTECH Plasmaätz- & Beschichtungssysteme, unterstützen modernste Prozesse und Anwendungen für Industrie, Forschung und Entwicklung.
SENTECH ALD zeichnet sich durch die eigens entwickelte True Remote CCP Plasma Quelle, garantiert geringe Substratbelastung, stabile Prozessabläufe & Prozessmonitoring durch Insitu Messtechnik aus.
SENTECH Metrologie umfasst spektroskopische Ellipsometer, Laserellipsometer & Reflektometer zur Messung von Dicke & optischen Konstanten sehr dünner Schichten. Ein SENTECH Metrology Applikationslabor bei unserem japanischen Händler Hakuto wird im Januar 2016 eröffnet.

SENTECH vertreibt Anlagen zur Plasma-Prozess-Technologie (Ätz-/Beschichtungsanlagen, ALD, ALE) und Messgeräte zur optischen Dünnschichtmesstechnik (Ellipsometer und Reflektometer).

Produkte

Plasma-Prozess-Technologie:
ICP Ätzanlage für schädigungsarmes Ätzen, RIE Ätzanlage, ICPECVD Anlage für schädigungsarmes Beschichten, ALD und ALE Anlagen. Alle Anlagen können in einen Cluster integriert werden.

Optische Dünnschichtmesstechnik:
SENresearch 4.0 mit breitem Spektralbereich von 190 – 3.500 nm, SENDIRA MIR spektroskopisches Ellipsometer, SENDURO MEMS eine automatisierte Messplattform, Laser Ellipsometer u.a.

Dienstleistungen

Auftragsmessungen, Auftragsbeschichtungen, Auftragsätzungen

Eckdaten

SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
IVAM-Mitglied
Konrad-Zuse-Bogen 13
82152 Krailling
Deutschland
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Gründungsjahr: 1987

Kontakt

Dr. Helmut Witek
sales@sentech.de
+49 89 897 9607-0

News

Seminar „Plasma-Prozess-Technologie“ in Berlin-Adlershof
01.02.2019 SENTECH veranstaltet am 28. März 2019 ein anwendungsorientiertes Seminar über „Plasma-Prozess-Technologie“ in den Räumen von SENTECH Instruments in Berlin Adlershof. …