CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

COMPAMED 2020

Halle 8a, Stand H23.1
• Research and Development from Design to Prototyping
• Sensor Microsystems based on Silicon Technologies
• MEMS, MOEMS and Detectors
Das CiS beschäftigt sich mit Aufgaben der Grundlagenforschung und der umsetzungsorientierten industriellen Forschung und Entwicklung einschließlich Prototyping und Produktion. Es entwickelt und fertigt optoelektronische, piezoresistive, kapazitive und elektromechanische Mikrosensoren und Systeme.

Produkte

  • Siliziumbasierte Mikrosensoren
  • Photodioden, Photodiodenarrays
  • Strahler-Empfänger-Module
  • Strahlungsdetektoren
  • Drucksensorchips
  • Kraftsensoren
  • Mikrobiegebalken, Cantilever
  • Kondensationssensoren

Dienstleistungen

  • F&E-Dienstleistungen für Mikrosystemtechnik:
  • Entwicklung von Sensorkomponenten und -systemen
  • Sensordesign
  • Waferprocessing
  • Aufbau- und Verbindungstechnik
  • Mess- und Prüftechnik
  • Sensorkalibrierung
  • Festkörperanalytik
  • Technologietransfer