4. NRW Nano-Konferenz

Panorama-Forum Stand 45
Kontaktperson: Ulrike Pisarski
FRT the art of metrologie – Hochwertige 3D-Oberflächenmesstechnik für Ihre Anforderungen

FRT ist einer der weltweit führenden Anbieter von 3D-Messtechnik für F&E und high-volume manufacturing. Der FRT MicroProf® ist in den Bereichen Halbleiter-Frontend, Advanced Packaging, MEMS, VCSEL, Automotive, Engineering und Optik etabliert.

Eine ultra-stabile Plattform der dritten Generation und eine komplette hausinterne Software sind das Ergebnis von mehr als 20 Jahren Erfahrung. Das FRT Multisensorkonzept und die Optionen der hybriden Messtechnik unterstützen Produktionslinien auf der ganzen Welt.

Die Anwendungen sind berührungslos und vollautomatisch. Messparameter sind Topographie, Schritthöhe, Rauheit, TTV, Bogen, Kette, Spannung, TSV, Schicht- und Stapeldicke, Overlay und CD - und viele Weitere. Verschiedene Messmethoden können mit Punkt-, Linien- und Sichtfeldsensoren sowie Schichtdickensensoren und Rasterkraftmikroskopen in einem Messgerät und in einem Rezept kombiniert werden.

Produkte

Berührungslose Oberflächenmesstechnik, Multisensor Technologie, vollautomatische Messgeräte, Dickenmessung, Topographiemessung, Schichtdickenmessung, Abstandssensoren, Schichtdickensensoren, Spektrometer, Konfokalmikroskope, Weißlichtinterferometer, Rasterkraftmikroskope

Dienstleistungen

Oberflächenanalyse- Auftragsmessungen- Fortbildungen/Seminare