FRT ist Equipment Supplier of the Year – 3D InCites Award für FRT MicroProf Messgerät

Die FRT GmbH wurde zum „Equipment Supplier of the Year“ gewählt. Das Unternehmen mit Sitz in Bergisch Gladbach wurde am 7. März von 3D InCites mit diesem Titel ausgezeichnet.

3D InCites bat darum, unter 40 Nominierten aus 26 Unternehmen und 4 Forschungsinstituten zu wählen, die sich in 9 Kategorien um diesen Preis bewarben. Mit über 40.619 Online-Abstimmungen wurden mehr als doppelt so viele wie im Vorjahr registriert.

Der MicroProf, die dritte Generation der FRT Oberflächenmessgeräte, vereint Multisensorik und Hybridmesstechnik in einem System und ist eine Lösung für messtechnische Aufgaben in der Halbleiter- und MEMS-Fertigung.

Es ermöglicht eine Vielzahl von Messaufgaben, die schnell, effizient und intuitiv durchgeführt werden können. Der MicroProf misst berührungslos die Topographie, die Gesamtdicke oder die Schichtdicke von Proben. Verschiedene optische Messmethoden, die meist nur als Einzellösungen erhältlich sind, wurden zu einem universellen, platzsparenden und kostengünstigen Messgerät kombiniert.

Je nach Anforderung ermöglicht der MicroProf schnelle Übersichtsmessungen der gesamten Probe sowie hochauflösende Detailmessungen bis in den sub-nm-Bereich. Möglich wird dies durch die individuelle Kombination der Sensoren. Eine intuitive Software ermöglicht vollautomatische Messungen und Datenauswertungen und erlaubt, komplexe Messaufgaben in kürzester Zeit zu erledigen. Darüber hinaus sind vollautomatisches Probenhandling und -sortierung möglich.

Kontakt: Marco Cappelletti, FRT GmbH
cappelletti@frt-gmbh.com