Technische Universität Chemnitz
Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)

Das ZfM beschäftigt sich mit Grundlagenuntersuchungen, praxisnahen Verbundprojekten und direkten Forschungs- und Entwicklungsaufträge für die Industrie auf folgenden Gebieten: - Entwicklung von Basistechnologien und Komponenten für Mikro– und Nanosysteme (Sensoren, Aktoren, Arrays, Back End of Line)- Design von System und Komponenten- Entwicklung von Nanotechnologien, Nanokomponenten, ultradünnen funktionalen Schichten

Produkte

Sensoren, Aktoren und Arrays wie z. B. - hochgenaue Beschleunigungssensoren und Drehratesensoren für den Einsatz in Navigationssystemen- Anzündelemente für Airbags - piezoresistive und kapazitive Drucksensoren- Neigungssensoren- Durchflussmengenmesser - Mikrospiegel für die Ablenkung von Laserstrahlen- Scanner- Lab on Chip Systeme

Dienstleistungen

Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik und im Bereich von Metallisierungssystemen für höchstintegrierte Schaltkreise- Silizium-Präparationslinie- Maskenherstellung- professionelle Hard- und Software für Simulation & Design- hochwertige Analyse- und Messtechnik