Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT

Das Fraunhofer ISIT entwickelt und fertigt Bauelemente der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik, angefangen beim Entwurf einschließlich der Systemsimulation, über Prototyping, Bemusterung bis hin zum Zugang zur Serienherstellung.

Produkte

Spezialprozesse u. a.: Nassätzverfahren, Hochraten-Plasmaätzen, Abscheidung nicht IC-kompatibler Materialien, Lithographie mit dicken Lacken, Grauton-Lithographie, Galvanik- Mikroformgebung, Waferbonden

Dienstleistungen

Das ISIT entwickelt Bauelemente im Kundenauftrag und realisiert auch die anwendungsspezifischen Schaltkreise (ASIC), die zum Betrieb von Mikro-Sensoren und Aktuatoren erforderlich sind.