Optische Mikrosysteme des Fraunhofer IPMS ermöglichen hochauflösende schnelle Lichtsteuerung

Flächenlichtmodulatoren bestehend aus Arrays von Mikrospiegeln auf Halbleiterchips.
Quelle: Fraunhofer IPMS
13.04.2022

Optische Mikrosysteme sind Wegbereiter des Lichts: Die photonischen Systeme des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme IPMS können mittels kleiner auslenkbarer Spiegel Licht modulieren und so auf einzigartige Weise Bilder und Strukturen erzeugen. Das Forschungsinstitut entwickelt auf diese Weise Flächenlichtmodulatoren mit bis zu mehreren Millionen Spiegeln auf einem Halbleiterchip. Hauptanwendungsgebiete für Spiegelmatrizen liegen in den Bereichen Mikrolithographie im tiefen Ultraviolett-Bereich, Herstellung von Leiterplatten (PCB), Halbleiterinspektion und -messtechnik sowie in der Adaptiven Optik, der Astronomie, der Holografie und der Mikroskopie. 

CMOS-integriertes Mikrospiegelarray

Neuste Entwicklung des Fraunhofer IPMS ist ein CMOS-integriertes Mikrospiegelarray mit zwei Kippachsen pro Spiegel und zugehöriger Technologieplattform. Neben dem Einsatz in der Halbleiterindustrie ermöglicht die Innovation neuartige Methoden der Bildgebung in der Mikroskopie, vor allem für biomedizinische Anwendungen. Realisiert werden Letztgenannte in Zusammenarbeit mit dem Projektzentrum "Mikroelektronische und Optische Systeme für die Biomedizin" MEOS innerhalb des Fraunhofer IPMS.

Neue Entwicklungen sind auf der LASER in München zu sehen

Auf der LASER – World of PHOTONICS in München können sich die Besucher in dieser Woche über die neuesten Entwicklungen des Fraunhofer IPMS informieren. "Eines unserer Ausstellungstücke ist der 2-Achsen-Kippspiegeldemonstrator, welcher unter anderem in der optischen Strahlführung angewandt werden kann. Generell werden die Mikrospiegel der IPMS-Flächenlichtmodulatoren je nach Anwendung einzeln gekippt oder vertikal ausgelenkt, so dass Oberflächenmuster - zum Beispiel zur Erzeugung definierter Strukturen – entstehen", erklärt Dr. Michael Wagner, Leiter des Geschäftsfelds Spatial Light Modulators (SLM) am Fraunhofer IPMS. "Anhand der Kippspiegel-Makromodelle können Besucher zudem die Mikrospiegel der Flächenlichtmodulatoren anhand eines großen Modells selbst bewegen und dabei einen Eindruck gewinnen, welche Auslenkfunktionalitäten möglich sind".

Kontakt: Dr. Anne-Julie Maurer, Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
anne-julie.maurer@ipms.fraunhofer.de