SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH

SENTECH bietet seit vielen Jahren erfolgreich Systeme der Plasmaprozesstechnologie und Dünnschichtmesstechnik an. Wir setzen dabei auf die Qualität, Flexibilität und Automatisierbarkeit der Systeme. Anwendungen sind das Herstellen und Messen von dünnen Schichten und das Ätzen von Mikro- und Nanostrukturen. Die Nutzer finden sich in der Halbleiterindustrie, Optik, MEMS, Telekommunikation, Sensorik und vielen weiteren Gebieten. SENTECH bietet folgende Technologien an: Reaktives Ionenätzen, Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, Atomlagenabscheidung, Ellipsometrie und Reflektometrie
SENTECH vertreibt Geräte zur Dünnschichtmesstechnik mit Ellipsometrie und photometrischen Verfahren, Anlagen zur Plasmaprozesstechnologie und Messtechnik zur Minoritätsträgerlebensdauerbestimmung. SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik, Krailling ist der Vertriebspartner von SENTECH Instruments, Berlin-Adlershof und Freiberg Instruments, Freiberg.

Produkte

Dünnschichtmesstechnik: Spektroskopische Ellipsometer: SENresearch 190-3.500nm, SENpro, SENDIRA Laser Ellipsometer: SE 400adv, SE 500adv Automatisierte Messgeräte: SENDURO, SENDURO 200 / 300 Reflektometer: RM 1000 / RM 2000, FTPadv Messtechnik für grossflächige Substrate: SenSol Plasmaprozesstechnologie: Plasma Ätzer, Plasma Beschichter, Atomic Layer Deposition (ALD), kundenspezifische Lösungen Ladungsträgerlebensdauer Messung: MDP-Produkte,In- und offline Equipment

Dienstleistungen

Auftragsmessungen, Auftragsbeschichtungen, Auftragsätzungen