Aktive Schwingungsdämpfung mit neuer Low Power Technologie

Um höchste Auflösungen im Mikroskopie-, Messtechnik- und Produktionsbereich zu erlangen, ist eine effektive Isolation, vor allem von niedrigen Störfrequenzen, wie sie zum Beispiel durch vom Verkehr angeregte Gebäudeschwingungen entstehen, entscheidend. Klassische passive Lösungen (Luft- oder Federdämpfung) besitzen bei niedrigen Frequenzen eine systembedingte Eigenresonanz (typischerweise in der Nähe der Gebäuderesonanz) und haben Abklingzeiten im Sekundenbereich.

Die modularen, aktiven Antivibrationssysteme der AVI-Serie sind nun mit neuer Low Power Technologie (LP) ausgestattet. Die kompakten Module benötigen keinen Luftanschluss und haben eine systembedingte Steifigkeit. Sie ist typischerweise 500-mal größer als eine passive Dämpfung mit der Eigenresonanz bei 1 Hz. Dies gewährleistet Richtungs- und Positionsstabilität. Die Systeme besitzen keine systembedingte Eigenresonanz und sind kalibrationsfrei.

Die neue Low Power Technologie ist zusätzlich frei von elektromagnetischen Feldern, die hochempfindliche Messsysteme stören könnten. Eine reduzierte Verlustleistung schließt die Eigenerwärmung des Systems aus. Die LP-Technologie ist besonders geeignet für den Einsatz sowohl in sämtlichen Mikroskopiebereichen (optisch, SNOM, AFM, STM, REM, TEM) als auch für die Interferometrie, Profilometrie, Lithographie, Waverinspektion und Mikro-/Nano-härteprüfung.

HWL Scientific Instruments GmbH
Uwe Külz
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