Parallel zur MST-Regionalkonferenz wird am 25. Mai in Dortmund auch der CORONA-Workshop am Flughafen Dortmund stattfinden. Zu Beginn des Workshoptages soll es um die Motivation des Projektes, nämlich die Notwendigkeit der Forschung im MEMS Product Engineering gehen. Im Anschluss wird der Teilnehmer von der Vision des FP7-geförderten Projekts CORONA über die Methodologie und die Applikations-Szenarios zu den konkreten Produkten hingeleitet, die im praktischen Teil der Veranstaltung erfahrbar gemacht werden.
Die Entwicklung der Mikro- und Nanotechnologien wie beispielsweise MEMS beinhaltet sowohl das Systemdesign als auch die Konfiguration des entsprechenden, geeigneten Herstellungsverfahrens. Basierend auf einer umfassenden Methodik bietet das CORONA-Projekt eine Software-Plattform, die die handelsüblichen Tools aus beiden Bereichen zu einem gemeinsamen design flow vereint.
In diesem Workshop werden Coventor S.a.r.l. und Process Relations GmbH ihre neuen Tool-Entwicklungen für die Software-Plattformen MEMS+® , Semulator® und Xperi Desk® für die Produktentwicklung der nahtlosen MEMS vorstellen. Die Teilnehmer können von praktischen Beispielen profitieren und über die Tools und ihre Anwendung mit Entwicklern diskutieren.
Die Vorträge, Vorführungen und Trainings sehen auch reichlich Zeit für individuelle Gespräche und Fragerunden vor.
Herr Dr. Jens Popp (Process Relations GmbH) wird auch auf der MST-Regionalkonferenz das Projekt dem Plenum vorstellen.
Die Teilnahme ist kostenfrei. Ihre Ansprechpartnerin rund um das Projekt CORONA ist Frau Inga Goltermann (
go@ivam.de, 0231 9742 7090)
AGENDA
09.00 Registration and Welcome
09.30 Motivation: Needs in MEMS Product Engineering
Dr. Peter Merz, MEMS Foundry Itzehoe GmbH, DE
10.00 CORONA Vision: Project Overview
Prof. Dr. Rainer Brück, Universität Siegen, DE
10.20 Methodology for MEMS Product Engineering
Dr. Dirk Ortloff, Process Relations GmbH, Dortmund, DE
10.40 Coffee Break
11.00 Typical Application Scenarios and Best Practice Experiences
Dr. Gisbert Hölzer, X-Fab Semiconductor Foundries AG, Erfurt, DE
Dr. Tomasz Bieniek, Instytut Technologii Elektronowej ITE, Warszawa, PL
11.40 Lunch Break
12.40 Integrated 3D MEMS Design with MEMS+ and Semulator
Dr. Gerold Schröpfer, Coventor S.a.r.l, Paris, FR
13.10 XperiDesk – Verification & Simulation
Dr. Dirk Ortloff, Process Relations GmbH, Dortmund, DE
13.40 Final Discussion
14.00 Coffee Break
14.15 Software Demo and “Hands-on” Training
16.15 Close of the Workshop
