Als erstes europäisches Unternehmen bietet SONOSYS® Ultraschall-Reinigungssysteme im Frequenzbereich zwischen 400 kHz und 5 MHz an. SONOSYS® Megasonic Systeme ermöglichen eine sehr effiziente Abreinigung von Partikeln bis in den Nanobereich von Wafern, Masken, MEMS und LIGA. Unsere Produkte werden in den verschiedensten Märkten eingesetzt (z. B. Halbleiterindustrie, Lebensmittelindustrie, Optische Industrie, Solarzellen, Sonochemie). Produktspektrum: Transducerplatten, Tauchschwinger, Face-to-Face-Transducer, Single- und Doppel-Düsen, Vernebler und sehr kompakte Generatoren bis zu 2000 W.
Die Sonosys Ultraschallsysteme GmbH entwickelt und produziert hochfrequente Ultraschallreinigungssysteme (Megasonic) für die Halbleiter-Produktion und Mikro-/Nano-Technik. Megasonic Systeme ermöglichen eine effiziente Abreinigung kleinster Partikel bis in den Nanobereich von empfindlichen Oberflächen und aus Gräben von Nanostrukturen.

Produkte

Megasonic- Tauchschwinger- Singel/Dual-Düsen- Schlitzdüsen- Transducerplatten- Generatoren- Vernebler- Tanks- Face-To-Face Transducer

Dienstleistungen

Vermietung von Megasonic Systemen für Versuche beim Anwender