18.02.2016

Fotostrukturierbares Glas FOTURAN II für den Einsatz in Biotech- und MEMS-Anwendungen

Vier Prozessschritte zur Bearbeitung von FOTURAN II (von links nach rechts): UV-Belichtung, Tempern, Ätzen, Keramisierung
Quelle: SCHOTT
18.02.2016

SCHOTT bringt mit FOTURAN II ab sofort eine deutlich verbesserte Version des bekannten fotostrukturierbaren Glases FOTURAN auf den Markt, das sich in drei Prozessschritten bis auf µm-Level bearbeiten und strukturieren lässt.

Das technische Glas kristallisiert nach UV-Belichtung und Temperaturprozess. Die kristallisierten Bereiche können im Anschluss mit einem hohen Aspektverhältnis geätzt werden, sodass sehr feine Strukturen erzeugt werden können, die FOTURAN II-Wafer zu einer Kernkomponente für den Einsatz in Halbleiter-, Biotech- sowie chemischen und gewerblichen Anwendungen machen. 

Seine Eigenschaften machen FOTURAN II zur optimalen Materialwahl für Anwendungen der Biotechnologie. So wird beispielsweise die Mikrofluidik zu einer wichtigen Schlüsseltechnologie für eine Vielzahl von Anwendungsfeldern, so z.B. für die medizinische Diagnostik, sowie wissenschaftliche Forschung im Bereich der Medikamentenforschung.

Das Glas wird nun in einem kontinuierlichen Schmelzprozess mit optimaler Homogenität hergestellt, was eine hohe Reproduzierbarkeit und eine verbesserte sowie konsistente Fotosensibilität sicherstellt. Standard-Lieferformate sind runde 6- oder 8-Zoll-Wafer und rechteckige Substrate bis zu 200 x 200 mm, erhältlich in Dicken von 0,5 mm bis zu 1 mm.

“Für das einzigartige Portfolio von SCHOTT, als einer der weltweit führenden Anbieter von dünnen und ultradünnen Glaswafern und Substraten, ist FOTURAN II ist eine wertvolle Ergänzung“, so Fredrik Prince, Leiter des strategischen Geschäftsfeldes Thin Glass & Wafer. 

Kontakt: Stefan Hermes, Schott AG
stefan.hermes@schott.com

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