Berliner Glas entwickelt und fertigt Controller für elektrostatische Chucks

Die Berliner Glas Gruppe erweitert ihr Leistungsportfolio um Controller für die Ansteuerung von elektrostatischen Chucks (ESCs). Durch eine intelligente elektrische Ansteuerung wird die Clamp- und De-clamp- Performance der e-chucks deutlich verbessert. Der Controller ermöglicht dem Anwender, den bestmöglichen Verlauf der Spannung zu ermitteln und durch eine unterstützende Regelung exakt einzuhalten. Hierzu werden die notwendigen Ansteuerungs-Parameter mit hoher Genauigkeit und Auflösung erfasst und können anwendungsspezifisch optimiert werden. Das Ansteuerungssystem ermöglicht die Kontrolle und einen vollständigen Zugriff auf alle notwendigen Prozesskenngrößen während der Waferprozessierung. So kann z. B. während des Clampens die optimale Haltekraft erzielt werden. Darüber hinaus wird eine mögliche Aufladung des Wafers deutlich reduziert, was zu einer geringeren Partikelbelastung und zu kürzeren Release-Zeiten führt.

Die Controller der Berliner Glas Gruppe sind modular aufgebaut und können je nach Kundenanforderung konfektioniert werden. Durch ein Hochspannungsmodul können bis zu acht Elektroden eines e-chucks unabhängig voneinander angesteuert werden. Die Temperaturmessung und -regelung ist an bis zu vier Punkten möglich. Die Controller verfügen über die gängigen CAN-BUS- oder EtherNet-Schnittstellen, sind über eine Maschinensteuerung, über einen PC oder als Stand-Alone-Lösung bedienbar. Die Netzstromversorgung ist mit einem Weitbereichsnetzteil ausgestattet und somit für alle Stromnetze ausgelegt.

ESC-Controller von Berliner Glas werden in vielen Bereichen der Halbleiterindustrie eingesetzt – in der Lithographie, der Inspektion, Beschichtung, 3D-Integration, für das Wafer Handling und während Ätz- und Klebeprozessen. Sie sind CE, RoHS und EMV zertifiziert, per Plug & Play einsetzbar, mit Kurzschlussschutz versehen und können in ein kundenspezifisches Housing eingesetzt werden.

Weitere technische Details sind im Datenblatt „ESC Controller“ oder auf der Webseite http://www.berlinerglas.de/entwicklungskompetenzen-im-ueberblick/produktentwicklung/chuck-design zu finden.

Kontakt: Iris Teichmann, Berliner Glas KGaA Herbert Kubatz GmbH & Co.
Teichmann@berlinerglas.de