Wozu dienen Mikromodelle? Chips aus Glas und Silizium in praktischer Anwendung

Mikromodelle sind innovative Chips, mit denen große Vorgänge in kleinen Dimensionen dargestellt werden. Sie sind flexibel in verschiedenen Bereichen, wie z.B. der Lagerstättentechnik, einsetzbar. Zudem sind Glas- und Siliziumchips langlebig und biokompatibel.

Gemeinsam mit der TU Clausthal hat die iX-factory ein „Mikromodell von einem porösen Medium“ entworfen. Der Chip wurde nach bestimmten Spezifikationen von der iX-factory gefertigt. Die Anwendungsmöglichkeit beschreibt Jonas Wegner von der TU Clausthal und zeigt die Untersuchung des Polymerflutens auf: „Das Polymerfluten ist ein Verfahren zur verbesserten Entölung von Lagerstätten. Zur grundlegenden Untersuchung dieser Prozesse werden am Institut für Erdöl- und Erdgastechnik der TU Clausthal Mikromodelle aus Silizium verwendet“. Der Vorteil ist laut Wegner der detaillierte visuelle Zugang zum Flutprozess. Die lokale Verteilung statischer und dynamischer Strömungsparameter kann direkt am Modell abgelesen werden.

Doch wie läuft die Fertigung ab? Ein 50 µm Siliziumwafer wird anodisch gegen einen Glaswafer gebondet. Dadurch wird eine sichere und dauerhafte Verbindung gewährleistet. Anschließend wird die Siliziumschicht mittels Trockenätzens individuell strukturiert und erneut mit einem Glaswafer mit mikrofluidischen Anschlusslöchern verbunden. Zuletzt werden die einzelnen Chips präzise aus dem Wafer gesägt. Um ein optimales Endprodukt zu erhalten, ist der Kontakt zum Kunden während des Fertigungsprozesses sehr wichtig.

Kontakt: Dominique Bouwes, iX-factory GmbH
info@ix-factory.de