Dünnschichtsensor für hochaufgelöste Dickenmessung

FRT bringt mit dem Dünnschichtsensor FTR einen speziellen Sensor für die Dickenmessung transparenter dünner Schichten und Schichtsysteme auf den Markt, ein optisches Dünnschichtreflektometer. Das reflektometrische Verfahren zeichnet sich durch die berührungslose, zerstörungsfreie Messung mit sehr hoher Auflösung aus – und ist wegen dieser Eigenschaften besonders für den Einsatz an sensiblen Materialien der Halbleiter-, MEMS- und Solartechnik geeignet.
 
Leicht, klein und verschleißfrei – das sind die zuverlässigen Eigenschaften des FTR-Messkopfs, der sich besonders gut für transparente, glatte Schichten eignet. Der Messvorgang in Kombination mit einem der Messgeräte von FRT, wie z.B. dem MicroProf 200 läuft komplett berührungslos und zerstörungsfrei ab. Anwendung findet der Sensor zum Beispiel bei der Dickenmessungen von Oxiden, Nitriden, Fotolack und anderen optisch transparenten Schichten.

Der Dünnschichtsensor basiert auf der spektral aufgelösten Reflexionsmessung und einer hochentwickelten Auswertesoftware. Die Bestimmung der Dicke dünner Schichten beruht auf der Überlagerung von Teilwellen, die an den Grenzflächen des dünnen Films reflektiert werden. Die Auswertung dieses spektralen Interferenzmusters mit der FRT-eigenen Software liefert die Informationen zur Schichtdicke des Films mit Nanometerauflösung. Die Ergebnisse werden erfasst, ausgewertet und visualisiert. Zur neuen Generation des Sensors gehört auch eine umfangreiche, vom Anwender leicht zu ergänzende Datenbank mit Brechungsindex und Absorptionsindex einer Vielzahl von Halbleitern, Oxiden, Gläsern, Metallen, Resists etc. Für die automatisierte Messung (punktuell, Linienprofil oder 3D-Mapping) können Rezepte zusammengestellt werden. Mit dem FTR-Sensor werden eine hohe Auflösung, Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bei der Schichtdickenbestimmung erreicht.
 
Der FTR lässt sich problemlos mit den Messgeräten von FRT kombinieren, darunter der MicroSpy FT, der MicroProf 200 und die FRT MFE Geräteserie. Damit bietet der Dünnschichtsensor auch eine sinnvolle Ergänzung für bestehende Geräte – und der Kunde kann seine Messungen noch besser an den individuellen Bedarf anpassen.

Kontakt: Christina Abholte, FRT, Fries Research & Technology GmbH
abholte@frt-gmbh.com