Neueste Vermessungstechnologie eröffnet große Potenziale für Qualitätssteigerung und Kostenreduktion in der Wafer-Produktion

Mit dem von 3D-Shape, einer Tochter von ISRA VISION, zur Serienreife entwickelten deflektometrischen Verfahren lassen sich 8“-Wafer auf ihrer gesamten Oberfläche in wenigen Sekunden auf lokale topographische Diskontinuitäten in Nanometerpräzision kontrollieren. Die hochauflösende und gleichzeitige 100%-Vermessung spiegelnder Wafer stellt eine besondere Herausforderung für die Messtechnik dar. Entweder sind die Inspektionsmethoden sehr genau, aber langsam, oder die Kosten für die Sensorik sind zu hoch, um eine 100%-Kontrolle wirtschaftlich zu betreiben.

Der 3D-Sensor SpecGAGE^3D ermöglicht nun die zuverlässige, automatische und vollständige Vermessung spiegelnder Wafer mit der notwendigen hohen Genauigkeit für den von der Industrie geforderten Durchsatz. Der Sensor basiert auf dem Prinzip der phasenmessenden Deflektometrie (Phase Measuring Deflectometry). Um die lokale topographische Orientierung der Oberfläche zu berechnen, werden durch eine leistungsfähige Beleuchtungseinheit Streifenmuster mit sinusförmigen Amplitudenkontrastverteilungen auf einer Mattscheibe erzeugt. Die auf der Oberfläche des Messobjekts gespiegelten Muster werden von einer leistungsfähigen Kamera aufgenommen, wobei aus der Verzerrung der Muster die lokale Neigung berechnet und die Oberflächenkrümmung abgeleitet werden können. Generell lassen sich mit dem 3D-Sensor kontaktlos absolute und vollflächige Messungen von reflektierenden Oberflächen in wenigen Sekunden durchführen. Das robuste Messverfahren ermöglicht hohe Präzision und Effizienz unter industriellen Produktionsbedingungen und verhilft der Halbleiterindustrie die Qualität ihrer Produkte zu steigern und gleichzeitig deren Herstellungskosten zu senken.
 
Vom 01.-05. Juli bietet ISRA VISION in verschiedenen deutschen Städten Workshops an, bei denen die optische 3D-Messtechnik und deren Nutzen vorgestellt wird.

Kontakt: Dr. Wolfgang Berggold, ISRA VISION
wberggold@isravision.com