27.10.2015

Beschichtung komplexer Formeinsätze im Projekt „3D CVD“

Simulation der Gasgeschwindigkeit in einer neuen Precursorzuleitung, erstellt mit COMSOL Multiphysics® V5.1.
Quelle: Kunststoff-Institut Lüdenscheid
27.10.2015
In der kunststoffverarbeitenden Industrie sind Schichtsysteme von Interesse, die den Formeinsatz eines Spritzgießwerkzeugs bei gleichbleibender mechanischer Stabilität vor Verschleiß und Korrosion bewahren. Die Expertise, mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) dünne Keramikschichten auf geometrisch anspruchsvollen Oberflächen abzuscheiden, kann die KIMW-F gGmbH im ZIM-Förderprojekt „3D CVD“ einsetzen, welches das Ziel hat, ein Verfahren zur dreidimensionalen Beschichtung von Werkzeug- und Formeinsätzen zu entwickeln. Dabei werden verschleißfeste Schichten auf Bauteilen mit komplexer Geometrie aufgebracht.

Zu diesem Zweck stehen verschiedene keramische Materialien zur Verfügung, die im CVD-Prozess ausgehend von einer chemischen Vorstufe (Precursor) dargestellt werden können. Durch die Nutzung metallorganischer Precursoren, die bereits bei Temperaturen unterhalb von 500 °C zur Keramik reagieren, wird das Substrat geschont und der Energiebedarf gesenkt. Parametrierung im Bereich Temperatur, Druck, Gasgeschwindigkeit und Vorstufenzuleitung sorgt zudem dafür, dass Kriterien wie eine hohe Maßgenauigkeit sowie Spaltgängigkeit der Schichten erfüllt sind.

Weitere Möglichkeiten zur Prozessoptimierung bietet die Simulationssoftware COMSOL Multiphysics, die es erlaubt Gasströme und -geschwindigkeiten im Reaktor unter definierten Bedingungen zu visualisieren. Des Weiteren wird durch eine stetige Weiterentwicklung der Automatisierungstechnik sowie die Inbetriebnahme eines zweiten CVD-Rezipienten neben der Wirtschaftlichkeit auch die Anwendungsflexibilität nachhaltig gesteigert.

Kontakt: Dr. Gregor Fornalczyk,  Kunststoff-Institut Lüdenscheid
fornalczyk@kunststoff-institut.de

IVAM Mitgliedsprofil

Empfohlene Artikel

19.06.2025

Am 21. und 22. Mai 2025 wurde Dortmund zum europäischen Zentrum für Mikro- und Hochtechnologien. Unter dem Motto „Tech United: …

18.06.2025

IVAM-Mitglied Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) zeigt in dieser Woche auf der LASER World of PHOTONICS in München zukunftsweisende photonische …

17.06.2025

Vom 16. bis 19. Juni 2025 fand die 19. ISEC in Erfurt statt. Rund 100 Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler aus über …

Empfohlene Veranstaltungen

09.09. - 11.09.2026
Manufacturing Processes for Medical Technology
04.02. - 06.02.2026
Entdecken Sie die Zukunft der Photonik mit IVAM
03.02. - 05.02.2026
Medical Design & Manufacturing - IVAM präsentiert Sonderbereich Micro Nanotech in Halle C