Abreinigung kleinster Partikel ohne Beschädigung der Strukturen

Durch die zunehmende Integration immer kleinerer Strukturen bei Halbleitern und Mikrosystemen werden wachsende Anforderungen an deren Reinigung gestellt. Das homogene Schallfeld des neu entwickelten Megasonic-Systems von SONOSYS mit einer Frequenz von zwei Megahertz reinigt Partikel bis in den Nano-Bereich bei gleichzeitiger Schonung der Mikrostrukturen ab.

Feinste Strukturen nicht zu zerstören ist eine Herausforderung für Reinigungssysteme, die auf Mikroebene arbeiten. Ein Ultraschall-Reinigungssystem mit einer Arbeitsfrequenz im Megahertz-Bereich ist dabei dem konventionellen, niederfrequenten Ultraschall mit zum Beispiel 40 Kilohertz überlegen. Durch die wesentlich niedrigere Kavitationsenergie werden Mikrostrukturen nicht zerstört und der Reinigungsprozess dadurch optimiert.

Die hermetisch gekapselten Schwinger in Edelstahl oder Kunststoff eignen sich zur Platzierung am Boden oder an den Seitenwänden in vorhandenen Bädern. Neben den Standardausführungen für 4"-, 6"- und 8"-Substrate werden die Abmessungen der Tauchschwinger auch kundenspezifisch ausgelegt.

SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH
www.sonosys.de