10.10.2023

Silizium-Dehnmessstreifen für die Medizintechnik

Silizium-Dehnungssensoren mittels Glas-Fritt-Bonden auf Stahl-Federkörper gefügt.
Quelle: CiS
10.10.2023

Die Messung der mechanischen Größen Kraft, Druck sowie mechanische Spannung ist wichtig für vielfältige Anwendungen im medizinischen Umfeld. So können z.B. die mechanischen Belastungen von Prothesen und Orthesen überwacht werden oder der Verschleiß von medizinischen Geräten direkt erfasst werden. 

Auf MEMS-Technologien basierende Siliziumsensorelemente bieten hinsichtlich Genauigkeit, Langzeitstabilität, Miniaturisierbarkeit und Kosteneffizienz vielfältige Vorteile gegenüber konventionellen Sensortechniken. 

Vorteile hinsichtlich Signalauswertung und Sensorplatzierung 

Neben piezoresistiven Drucksensoren wurden am CiS ein Portfolio an Si-Dehnmesstreifen entwickelt, die gegenüber Metall-DMS erheblich höhere K-Faktoren besitzen, was Vorteile hinsichtlich Signalauswertung und Sensorplatzierung bietet. Neben diesen Sensoren wurden geeignete Technologien der Aufbau- und Verbindungstechnik erarbeitet, die die Montage und die Kontaktierung der Sensorelemente auf vielfältigen Bauelementen langzeitstabil (metallisch, keramisch u.a.m.) ermöglichen. 

Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik erforscht, entwickelt und fertigt siliziumbasierte Sensoren für vielfältige Anwendungen. Die 30-jährige Kompetenz war und ist ein Erfolgsfaktor für zahlreiche kundenspezifische Entwicklungsprojekte für Partner aus Industrie, Medizin und Forschung. 

Neben der kundenspezifischen Entwicklung bietet das CiS die Fertigung von Prototypen bis hin zur Kleinserie sowie Entwicklungs- und Transferdienstleistungen für die Integration von Sensorbaugruppen in kundenspezifische Medizinprodukte und Anwendungen.

Kontakt: Dr. Klaus Ettrich, kettrich@cismst.de

COMPAMED 2023 mit IVAM:

Hall 8a, booth H23.4

  • Development and Prototyping of MEMS and MOEMS
  • Silicon based Sensor Technologies
  • Microsystem Technologies

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