Technische Universität Dortmund
Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme

4. NRW Nano-Konferenz

Goldsaalforum Stand 17
Kontaktperson: Dr. Klaus Kallis
E-Mail: klaus.kallis@tu-dortmund.de
Der Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme betreibt Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der siliziumbasierten Mikrosensorik und Aktorik. Unter anderem werden Schaltungen und CMOS-Prozesstechnologie für mikroelektronische Komponenten und Systeme entwickelt.

Dienstleistungen

- Konzept- und Machbarkeitsstudie- Entwicklung von Demonstratoren (Prototypen)- Entwicklung von Bauelementen und Prozessen- Simulationen- Beratung