Technische Universität Dortmund <br>Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme

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4. NRW Nano-Konferenz

Goldsaalforum Stand 17

Kontaktperson: Dr. Klaus Kallis
E-Mail: klaus.kallis@tu-dortmund.de

Der Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme betreibt Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der siliziumbasierten Mikrosensorik und Aktorik. Unter anderem werden Schaltungen und CMOS-Prozesstechnologie für mikroelektronische Komponenten und Systeme entwickelt.

Dienstleistungen

- Konzept- und Machbarkeitsstudie- Entwicklung von Demonstratoren (Prototypen)- Entwicklung von Bauelementen und Prozessen- Simulationen- Beratung

Eckdaten

Technische Universität Dortmund <br>Lehrstuhl für Intelligente Mikrosysteme
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Emil-Figge-Str. 68
44227 Dortmund
Deutschland
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Kontakt

Prof. Horst Fiedler
horst.fiedler@uni-dortmund.de
+49 231 7553 203