Wissensplattform zur Mikro-Nano-Integration: Das Unsichtbare sichtbar machen


Quelle: TU Illmenau
27.10.2015 Nanotechnologisches Wissen hat eine hohe Innovationsgeschwindigkeit und findet sich in weiten Teilen nur in internationalen wissenschaftlichen Veröffentlichungen wieder. Die Ergebnisse der Grundlagenforschung fließen so oft nicht schnell genug in die Entwicklungen der KMU ein. Es besteht ein erheblicher Bedarf an Fachkräften mit nanotechnologischem Wissen, die die Erkenntnisse der Grundlagenforschung qualifiziert in Produkte überführen können.

Gerade bei den Produktionsprozessen für die Mikro-Nano-Integration stehen Fachkräfte vor neuen Herausforderungen. Bestimmte Prozessschritte sind wesentlich kritischer als bisher und für die „unsichtbaren Arbeitsobjekte“ sind neue Qualitätskriterien notwendig. Daher greift die Wissensplattform typische Fragestellungen aus dem Arbeitsalltag auf, die sich an Grenzflächen abspielen können: Was geschieht, wenn sich dünne Schichten eines Materials im Prozess versehentlich anlagern? Wie beeinflussen sie den Folgeprozess? Was bewirkt eine Wechselwirkung mit einem Medium, das die Oberfläche anätzt und dessen Nanostruktur verändert? Und welche Effekte folgen aus einer Temperaturbehandlung?

Auch Arbeitsanweisungen können nur mit einem nanotechnologischen Grundverständnis situationsgerecht richtig ausgeführt werden. Ein interaktiver Bildbetrachter von Rasterelektronenmikroskop-Aufnahmen zeigt z. B., welche Spuren selbst ein Handschuh auf dem Wafer hinterlässt. Darüber hinaus gibt es Tools zum Messen und Vergleichen von Mikro- und Nanostrukturen. Den physikalischen Hintergrund erschließen sich die Fachkräfte mit interaktiven Formeln und leicht verständlichen, kurzen Texten.

Die neue Wissensplattform zur Mikro-Nano-Integration geht auf diese Herausforderungen ein unter dem Motto „Das Unsichtbare sichtbar machen“. Es steht allen Unternehmen offen, diese Wissensplattform kostenlos zu nutzen. Die Wissensplattform NanoTecLearn an der Technischen Universität Ilmenau wird vom Bundesministerium für Bildung und Forschung gefördert:

Kontakt: Prof. Dr. Heidi Krömker, Technischen Universität Ilmenau
heidi.kroemker@tu-ilmenau.de