REM-Werkbank als DemoLab

Im Rahmen des EU-Förderprojekts NanoHand haben die Projektpartner KLOCKE NANOTECHNIK und TESCAN eine neue REM-Werkbank als DemoLab in Aachen etabliert. Ziel von NanoHand ist die Entwicklung des weltweit ersten automatisierten Nanorobotik-Produktionssystems innerhalb eines Rasterelektronenmikroskops (REM), zum Beispiel für die Produktion von Carbon-Nanotube-Transistoren. Die REM-Werkbank besteht aus einem hochauflösenden TESCAN-Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (MIRA XM) und Nanorobotik von KLOCKE NANOTECHNIK.

Eine Vielzahl neuer Applikationen kann mit dieser automatisierten REM-Werkbank realisiert werden. Beispiele sind die Nanomanipulation oder 3D-Topographieanalyse im Bereich Materialforschung und Forensik, Mikro-Tribologie durch Reibungsanalyse, Stresstests oder Kraft-Wegmessungen an Mikro- oder Nano-Komponenten und -Systemen sowie Halbleiteranwendungen wie Maskenreparatur.

Für die Mikrotechnikbranche bietet das neue DemoLab Lösungen, die über konventionelle Techniken hinausgehen: Welche Reibung hat ein bewegliches Mikrobauteil in seinem System? Wie biegsam ist die Mikrostruktur wirklich? Gibt es Nanodefekte? Welche Rauheit hat der Boden eines engen Mikrokanals?

Demonstrationen der REM-Werkbank sind nach vorheriger Anmeldung möglich. Weiterhin wird die Nutzung des Systems als Dienstleistung angeboten, beispielsweise für Material- und Belastungstests, Reibungsmessungen, 3D-Topographie und Rauheitsanalysen oder Mikro-/Nano-Montage.

KLOCKE NANTOECHNIK
Dr. Volker Klocke
info@nanomotor.de
www.nanomotor.de