01.09.2009

Optische Messung der Schichtdicke

Der MicroSpy FT von FRT. Das Messgerät ist mit einem schnellen interferometrischen oder reflektometrischen Schichtdickensensor ausgestattet. Quelle: FRT.

01.09.2009

Mit dem neuen Messgerät MicroSpy FT ermöglicht die Fries Research & Technology GmbH (FRT) einen günstigen Einstieg in die berührungslose Schichtdickenmessung. Das Single-Sensor-Messgerät misst zerstörungsfrei Beschichtungen, die im sichtbaren und nahinfraroten Spektralbereich transparent oder halbtransparent sind.

Mit dem 3D-Schichtdickenmapping-Modus können neben klassischen Punkt- und Profilmessungen auch vollständige Flächenabschnitte einer Beschichtung erfasst werden, um zum Beispiel deren Homogenität zu visualisieren und zu beurteilen. Messen lassen sich freitragende Schichten wie Folien, aber auch Einzel- und Mehrschichtsysteme auf Substraten.

Anwendung findet das Gerät in der Entwicklung und Qualitätssicherung von Produkten der Medizin-, Halbleiter- und Mikrosystemtechnik sowie der Photovoltaik, Optik und Automobilindustrie.

FRT Fries Research & Technology GmbH
Dr. Thomas Fries
info@frt-gmbh.com
www.schichtdicke.eu
www.frt-gmbh.com